小型實驗設(shè)備（蒸發(fā)/磁控）

產(chǎn)品特點

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號ZZDS500 蒸發(fā)鍍膜手套箱系統(tǒng)
極限真空5×10-5Pa
抽速大氣~5×10-4Pa≤15min
蒸發(fā)源6個，金屬/有機數(shù)量任意搭配
蒸發(fā)源類型蒸發(fā)舟or有機、金屬束源爐
樣品尺寸210×210mm，向下兼容
膜厚均勻性≤±3%
均勻性判定（Tmax-Tmin）/（Tmax+Tmin）×100%
蒸發(fā)距離450mm~550mm可調(diào)
樣品溫控單加熱模式：室溫~300℃可調(diào)
單水冷模式：10~25℃可調(diào)
冷熱雙溫模式：10~200℃可調(diào)

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號ZCJS500 磁控濺射手套箱系統(tǒng)
極限真空5×10-5Pa
抽速大氣~5×10-4Pa≤15min
濺射靶3或4英寸靶，數(shù)量≤3
濺射電源射頻/中頻脈沖/直流
樣品尺寸150×150mm，向下兼容
膜厚均勻性≤±5%
均勻性判定（Tmax-Tmin）/（Tmax+Tmin）×100%
濺射距離100mm~±30mm可調(diào)
樣品溫控單加熱模式：室溫~300℃可調(diào)
冷熱雙溫模式：10~200℃可調(diào)
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